晶芯半导体稳居国内晶圆再生第一方阵

 7日，在晶芯半导体（黄石）有限公司万级无尘车间内，技术人员身着无尘服紧盯屏幕，实时监控工艺参数。机械臂精准流转，晶圆在自动化生产线上依次经过抛光、清洗、检测等工序，重获“新生”。

作为国内首家实现量产的12英寸晶圆再生工厂，晶芯半导体正满负荷运转，为国内头部晶圆厂提供关键配套服务。今年以来，该公司订单持续爆满，总投资7.5亿元的扩产项目加速推进，为我国半导体产业链自主可控提供有力支撑。

在芯片制造过程中，每生产1片成品芯片需消耗约10片测试片用于工艺监控和机台调试。过去，国内受损晶圆只能送往中国台湾、日本等地处理，周期长达2个月，成本高昂且存在供应链安全隐患。晶芯半导体通过自主研发的原子级抛光、超洁净清洗等核心工艺，经20余道工序精准去除晶圆表面附着物，使其恢复至全新出厂标准，实现循环利用。“我们的产品实现了进口替代，大幅缩短处理周期，降低企业成本。”企业主要负责人陶盛介绍。

目前，该公司产品已实现100%进口替代，将处理周期缩短至7天以内，为客户降低20%以上综合成本。产品成功通过30余家国内主流晶圆厂严格验证，直供长江存储、武汉新芯等头部企业，服务覆盖国内80%以上已投产的12英寸晶圆厂。

创新是晶芯半导体的核心竞争力。该公司组建了行业资深专家领衔的研发团队，构建起覆盖工艺、设备及检测方法的全链条自主知识产权体系，产品在表面颗粒控制、金属离子含量等关键指标上达到国际先进水平。公司先后获评湖北省潜在独角兽企业、湖北省专精特新中小企业。

为应对持续增长的市场需求，晶芯半导体全力推进12英寸晶圆再生扩产项目。该项目新建厂房48000平方米，新购置国际先进抛光机、清洗机等设备80台套，建设5条智能化生产线。建成后，预计晶芯半导体将年新增12英寸再生晶圆产能120万片，年产能突破240万片，稳居国内三大晶圆再生供应商行列。目前该项目主体工程已完工，正进行设备安装调试，预计今年下半年逐步投产。

未来，晶芯半导体将继续深耕半导体材料循环利用领域，加大研发投入，拓展产品品类和服务范围，为下游客户提供更多优质产品，助力我国半导体产业高质量发展。（融媒记者　陈双）